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[00039816]一种基于有源区材料的光学天线太赫兹探测器

交易价格: 面议

所属行业: 其他电气自动化

类型: 发明专利

技术成熟度: 正在研发

专利所属地:中国

专利号:CN201511018027.4

交易方式: 完全转让 许可转让 技术入股

联系人: 南京大学

所在地:江苏 南京市

服务承诺
产权明晰
资料保密
对所交付的所有资料进行保密
如实描述
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技术详细介绍

一种基于有源区材料的光学天线太赫兹探测器,光学天线与晶体管栅极采用同一层多晶硅材料,厚度为100~300nm;光学天线分别置于晶体管的源极和漏极两端,天线边缘距离晶体管栅极边缘间距为100~500nm,光学天线与晶体管源端、漏端和栅端通过标准半导体工艺中填充氧化物隔开;光学天线采用偶极子天线或领结形天线结构,多晶硅材料的掺杂浓度为1017~1020原子/每立方厘米;天线厚度与晶体管源漏端厚度相同,将天线分别与源漏连成一整体。

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