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[00039845]一种三明治结构的ZnON薄膜

交易价格: 面议

所属行业: 其他电气自动化

类型: 实用新型专利

技术成熟度: 正在研发

专利所属地:中国

专利号:CN201620088085.8

交易方式: 完全转让 许可转让 技术入股

联系人: 南京大学

所在地:江苏 南京市

服务承诺
产权明晰
资料保密
对所交付的所有资料进行保密
如实描述
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技术详细介绍

一种采用三明治结构的ZnON薄膜,三明治结构的ZnON薄膜的基底上的夹层为富氮ZnON薄膜,富氮ZnON薄膜厚度为20‑150纳米,夹层上部的覆盖层为富氧ZnON薄膜,富氧ZnON薄膜层厚为5‑30纳米,基底为硅片、石英、玻璃或柔性衬底。三明治结构中夹层富氮ZnON和原位制备覆盖层富氧ZnON,提高了晶体管沟道层的稳定性,抑制后续晶体管器件的功能老化衰退。

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