X为了获得更好的用户体验,请使用火狐、谷歌、360浏览器极速模式或IE8及以上版本的浏览器
APP下载
欢迎光临,请  登录  |  注册
尊敬的,欢迎光临!  [会员中心]    [退出登录]
成果
成果 专家 院校 需求 政策
当前位置: 首页 >  科技成果  > 详细页

[00041095]一种提高ZnON薄膜迁移率和稳定性的方法

交易价格: 面议

所属行业: 化工生产

类型: 发明专利

技术成熟度: 正在研发

专利所属地:中国

专利号:CN201610059148.1

交易方式: 完全转让 许可转让 技术入股

联系人: 南京大学

所在地:江苏 南京市

服务承诺
产权明晰
资料保密
对所交付的所有资料进行保密
如实描述
分享
|
收藏
|

技术详细介绍

一种提高ZnON薄膜迁移率和稳定性的方法,包括以下步骤:采用三明治结构的ZnON薄膜,三明治结构基底上的夹层为富氮ZnON薄膜,夹层上部的覆盖层为富氧ZnON薄膜,采用反应射频磁控溅射制备三明治结构的ZnON薄膜,以纯度为99.999%的锌靶为溅射靶材,生长ZnON薄膜前对高纯锌靶材利用氩离子束预溅射5-15分钟;通过两步反应射频磁控溅射生长的方法,第一步生长制备的非晶富氮ZnON薄膜;第二步制备富氧ZnON多晶薄膜;减小了薄膜体内和晶界缺陷密度,从而得到具有高迁移率、高稳定性的ZnON薄膜材料。

推荐服务:

龙岩市科技创新服务平台

福建省龙岩市龙岩大道1号市行政办公中心

联系方式:0597-2601001,400-649-1633

|    关于我们    |    帮助中心    |

Copyright © 2019 龙岩市科技开发与科技特派员服务中心 版权所有

闽ICP备20015298号-1

闽公网安备 35080202351102号