APP下载
联系人: 南京大学
所在地:江苏 南京市
光热探针 -- 半导体离子浓度测试仪
光热探针技术是建立在光声显微镜和激光扫描显微镜基础上,利用调制光反射技术发展起来的一种新型探针技术。利用一束强度调制激光聚焦在样品表面,对半导体样品,入射的光能激发的光生载流子,从而引起表面光反射率变化,用另一束探测光可检测此反射率的变化。由于光生载流子数目直接与注入的离子浓度相关,因此可测定表面注入离子浓度的分布。
近年来,曾利用本仪器对各种试样(如半导体材料及器件),进行了光声分层研究, 对其中的缺陷和微细结构进行成象检测,获得很有意义的成果。
龙岩市科技创新服务平台
福建省龙岩市龙岩大道1号市行政办公中心
联系方式:0597-2601001,400-649-1633