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[00041942]光热探针 -- 半导体离子浓度测试仪

交易价格: 面议

所属行业: 其他电子信息

类型: 非专利

技术成熟度: 正在研发

交易方式: 完全转让 许可转让 技术入股

联系人: 南京大学

所在地:江苏 南京市

服务承诺
产权明晰
资料保密
对所交付的所有资料进行保密
如实描述
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技术详细介绍

  光热探针 -- 半导体离子浓度测试仪

  光热探针技术是建立在光声显微镜和激光扫描显微镜基础上,利用调制光反射技术发展起来的一种新型探针技术。利用一束强度调制激光聚焦在样品表面,对半导体样品,入射的光能激发的光生载流子,从而引起表面光反射率变化,用另一束探测光可检测此反射率的变化。由于光生载流子数目直接与注入的离子浓度相关,因此可测定表面注入离子浓度的分布。

  近年来,曾利用本仪器对各种试样(如半导体材料及器件),进行了光声分层研究, 对其中的缺陷和微细结构进行成象检测,获得很有意义的成果。

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