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[00042291]VHF-PECVD装备的开发
联系人： 南方科技大学
所在地：广东 深圳市
- 服务承诺
- 产权明晰
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资料保密
对所交付的所有资料进行保密
- 如实描述
技术详细介绍
原理及技术特点 本项目所开发的甚高频CCP-PECVD系统，是当前最先进的PECVD技术。它采用甚高频40.68MHz替代了当前应用材料公司采用的射频13.56MHz作为驱动电源等离子体密度随着驱动电源频率的增加而提高9倍，反应气体的离化率大幅提高同时离子轰击衬底的能量显著降低，大大提高了成膜质量和成膜速率。该系统是平板式电容耦合放电的等离子体系统，处理的基片尺寸1.1m*1.3m ( 5代)和1.5m*1.85m ( 6代)两类尺寸，满足当前移动终端显示屏的成本最低的切割需求，也是高效异质结太阳能电池的关键核心设备。在平板显示ARRAY整体产线成本中，PECVD设备占近15-20%。在异质结太阳能电池的整体产线成本中则占30-35%。 应用市场 PECVD是现代微电子行业、半导体信息产业、新能源产业、新材料产业的基础性核心装备。 其水平决定了电子信息能源产品的质量。 PECVD装备，尤其是大面积PECVD装备，全球市场规模大约400亿美元
