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联系人: 南方科技大学
所在地:广东 深圳市
技术原理 将氧化物半导体纳米阵列结构薄膜与MEMS工艺制作的自加热微型电极相结合,实现了高敏感和超低检测极限的微型SO2气体传感器的制备。 技术先进性 利用电阻式测试原理检测SO2气体的浓度,通过优化氧化物半导体纳米阵列薄膜的微观结构,可对10 ppb量级痕量SO2气体进行探测;与此同时,单一器件尺寸为2x2mm2,功耗约为30mW。 应用市场 空气质量环境SO2监测,食品残留SO2检测
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