X为了获得更好的用户体验,请使用火狐、谷歌、360浏览器极速模式或IE8及以上版本的浏览器
APP下载
欢迎光临,请  登录  |  注册
尊敬的,欢迎光临!  [会员中心]    [退出登录]
成果
成果 专家 院校 需求 政策
当前位置: 首页 >  科技成果  > 详细页

[00042308]用于痕量SO2气体检测的MEMS气体传感器关键技术研究

交易价格: 面议

所属行业: 检测仪器

类型: 非专利

技术成熟度: 正在研发

交易方式: 完全转让 许可转让 技术入股

联系人: 南方科技大学

所在地:广东 深圳市

服务承诺
产权明晰
资料保密
对所交付的所有资料进行保密
如实描述
分享
|
收藏
|

技术详细介绍

技术原理 将氧化物半导体纳米阵列结构薄膜与MEMS工艺制作的自加热微型电极相结合,实现了高敏感和超低检测极限的微型SO2气体传感器的制备。 技术先进性 利用电阻式测试原理检测SO2气体的浓度,通过优化氧化物半导体纳米阵列薄膜的微观结构,可对10 ppb量级痕量SO2气体进行探测;与此同时,单一器件尺寸为2x2mm2,功耗约为30mW。 应用市场 空气质量环境SO2监测,食品残留SO2检测

推荐服务:

龙岩市科技创新服务平台

福建省龙岩市龙岩大道1号市行政办公中心

联系方式:0597-2601001,400-649-1633

|    关于我们    |    帮助中心    |

Copyright © 2019 龙岩市科技开发与科技特派员服务中心 版权所有

闽ICP备20015298号-1

闽公网安备 35080202351102号