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[00043452]一种掩膜版与样品的贴合及分离装置
联系人： 华东师范大学
所在地：上海 上海市
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资料保密
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技术详细介绍
摘要：本实用新型公开了一种掩膜版与样品的贴合及分离装置，它包括箱体、罩壳、磁力单元及支撑板，所述支撑板上设有弹簧，所述罩壳设于箱体的底部，且罩壳与箱体结合；所述支撑板设于罩壳内，支撑板上的弹簧与箱体连接。本实用新型采用在箱体内设置磁力单元、在支撑板上设置弹簧并罩壳上设置定位框的结构，借助掩膜版的铁磁性，通过磁力单元吸附与弹簧的压合使掩膜版和样品在定位框的限定下沿垂直方向实现贴合和分离。避免了掩膜版与样品间发生横向摩擦而造成的划伤，具有贴合精准度高，操作更为快捷方便的优点。
