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[00044312]自检测硅微机械电容式麦克风及其制备方法
联系人： 浙江工业大学
所在地：浙江 杭州市
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技术详细介绍
自检测硅微机械电容式麦克风，包括敏感膜和底板、硅基体；敏感膜的周边固定在硅基体上；底板上分布有通气孔，底板通过连接座固定在硅基体上，底板位于敏感膜的正上方，底板和敏感膜之间有空气隔层；各支板分别通过连接支座固定在硅基体上，支板分别通过连接支座与一引线端连接；敏感膜上设有敏感膜引线端。制备所述的麦克风的方法是：制备处三层的敏感膜；在敏感膜上干法刻蚀开引线窗口；制备形成空气隔层的空间；制备底板；在硅基体上腐蚀出声波传入通道；释放出敏感膜和第一支板、第二支板、第三支板。本发明具有能实现电学自检测、结构简单、成本低廉、有利于工业化大生产的优点。
