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[00044815]一种基于多模干涉原理的椭圆形十字交叉波导的制作方法
联系人： 浙江工业大学
所在地：浙江 杭州市
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技术详细介绍
一种基于椭圆形多模干涉原理的十字交叉波导的制作方法，包括以下步骤(1)选择二氧化硅作为基底材料，上部生长一层硅片；(2)在硅片上进行融刻，制作基于多模干涉原理的椭圆形十字交叉波导的器件结构，包括竖向部分和横向部分，竖向部分和横向部分结构上完全一致，依次包括前端直波导区域、前端锥形模式匹配器区域、椭圆形多模干涉区域、后端锥形模式匹配器区域、后端直波导区域组成，横向和竖向部分垂直交叉且中心对称，对称中心在椭圆形多模干涉区域的中心；硅片的下部分保留硅基，同时椭圆形十字交叉波导的器件结构完全掩埋于二氧化硅中。本发明串扰和损耗抑制效果好、结构紧凑、制作工艺简单、易于实现、且通用性、鲁棒性好、成本低廉。
