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[00046587]超重力辅助的可控制备一维硅纳米线阵列的方法

交易价格: 面议

所属行业: 其他电气自动化

类型: 发明专利

技术成熟度: 正在研发

专利所属地:中国

专利号:CN201510202592.X

交易方式: 完全转让 许可转让 技术入股

联系人: 中国科学院过程工程研究所

所在地:北京 北京市

服务承诺
产权明晰
资料保密
对所交付的所有资料进行保密
如实描述
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技术详细介绍

摘要:一种一维硅纳米线阵列的制备方法,采用“自上而下”金属辅助化学刻蚀法,直接将切洗后的硅片放入稳定的金属盐的氢氟酸水溶液刻蚀液中,在超重力体系中,通过调节离心机的转速、温度、时间一步法可控制备高质量的一维硅纳米线阵列。本发明的制备方法通过在反应过程中引入超重力场,可以一步法制备不同形状的高质量的硅纳米线阵列,缩短反应时间。

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