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[00046959]一种金刚石辐射探测器用石墨烯‑金复合电极的制备方法

交易价格: 面议

所属行业: 其他电气自动化

类型: 发明专利

技术成熟度: 正在研发

专利所属地:中国

专利号:CN201610406750.8

交易方式: 完全转让 许可转让 技术入股

联系人: 上海大学

所在地:上海 上海市

服务承诺
产权明晰
资料保密
对所交付的所有资料进行保密
如实描述
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技术详细介绍

摘要:本发明涉及一种金刚石辐射探测器的欧姆接触电极制备方法。属于金刚石辐射探测器制造工艺技术领域。本发明的要点是利用旋涂法在金刚石薄膜表面制备石墨烯层,再使用真空蒸镀或者电子束蒸发法在其表面制作金电极,制成石墨烯‑金二层体系,并在氮气气氛下退火,形成欧姆接触电极。本发明的二层石墨烯‑金二层欧姆电极是有较好的欧姆接触特性、较低的接触电阻率,明显提高器件的性能,且制备工艺较为简单。

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