[00047897]多晶硅还原炉多参量在线监测与优化控制装置及方法

交易价格： 面议

所属行业： 其他电气自动化

类型： 发明专利

技术成熟度： 通过小试

专利所属地：中国

专利号：ZL201210203820.1

交易方式： 完全转让许可转让技术入股

联系人：安徽大学

所在地：安徽合肥市

服务承诺: 产权明晰; 资料保密
对所交付的所有资料进行保密; 如实描述

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多晶硅还原炉多参量在线监测与优化控制装置及方法
本发明公开了一种多晶硅还原炉多参量在线监测与优化控制装置及方法，包括有多参量红外监测探头、红外图像处理与视觉测量模块、工艺优化控制模块，通过多参量红外监测探头获取炉内硅棒红外图像，经数据采集模块采集、转换为数字图像后再由图像处理模块进行分析、处理，通过视觉测量技术得到硅棒直径和生长率，采用比色测温方法测量硅棒表面的温度分布，所得数据经用户接口接入显示器通过分析获取的测量数据，建立优化控制模型，结合不同多晶硅还原炉型进行闭环优化控制。

[00047897]多晶硅还原炉多参量在线监测与优化控制装置及方法

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