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联系人: 北京石油化工学院
所在地:北京 北京市
液位沉降法制备薄膜的装置
本发明公开一种液位沉降法制备薄膜的装置,该装置包括:容器、加热板、储液器和管路,其中,所述容器为方形扁平结构,容器上设有输液口,所述容器通过输液口经管路与储液器连通;所述容器上设有加热板,所述加热板与容器内放置制膜的基板的位置相对应,用于薄膜的干燥和退火。该装置结构简单,由于采用方形扁平结构的容器,减少了用液量,有效降低了制备薄膜的成本,并且通过控制液位的沉降,可以方便的制备所需的薄膜,而基板不用动,装置可任意角度倾斜,使一次性镀膜厚度可控,加快了制备薄膜时间。
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