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[00049200]一种超纯氢气制造装置

交易价格: 面议

所属行业: 化工生产

类型: 发明专利

技术成熟度: 正在研发

专利所属地:中国

专利号:CN201120253262.0

交易方式: 完全转让

联系人: 中国科学院大连化学物理研究所

所在地:江苏 苏州市

服务承诺
产权明晰
资料保密
对所交付的所有资料进行保密
如实描述
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技术详细介绍

  本实用新型公开了一种超纯氢气制造装置,包括原料氢气缓冲罐,过滤器,流量控制阀,加热器,金属钯复合膜氢气纯化器,换热器,氢气储罐。原料氢气缓冲罐(11)的气体出口通过管路依次经过滤器(12)、流量控制阀(13)和加热器(14)后与金属钯复合膜氢气纯化器(15)的入口相连,金属钯复合膜氢气纯化器(15)的出口通过管路经换热器(16)换热后与氢气储罐(17)相连;金属钯复合膜氢气纯化器(15)的尾气出口排空。本装置制造超纯氢气,具有投资省和生产成本低的优点,可用于为多晶硅生产和LED外延片生长等提供廉价超纯氢气。

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