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[00049755]系列净化纯化设备装置
联系人： 中国科学院大连化学物理研究所
所在地：江苏 苏州市
- 服务承诺
- 产权明晰
-
资料保密
对所交付的所有资料进行保密
- 如实描述
技术详细介绍
项目阶段：成熟产品
项目简介及应用领域
本系列产品采用催化和化学吸附工艺联用，进行各种工业气体纯化。采用专利催化剂、高效吸气剂，纯化深度高，抗原料气瞬间波动能力强 (200%)。非消耗型纯化材料，使用寿命长。采用进口洁净管道、阀门、Swagelok全自动轨道焊，专利内加热抛光反应器，全面保证产品质量。集约化箱体包装，全自动运行、C级防爆。
具体系列如下：
1、超高纯氮气纯化设备及装置：应用领域为高纯单晶硅、晶片外延、大规模集成电路、光电生产等电子行业气体终端纯化；气体行业超纯气体生产以及钢铁、石化行业氮气纯化；
2、超高纯氢气纯化设备及装置：应用领域为高纯单晶硅、晶片外延、大规模集成电路、光电生产等电子行业气体终端纯化；气体行业超纯气体生产、氯碱氢气纯化以及钢铁、石化、机械行业保护气纯化；
3、超高纯氩、氦气纯化设备及装置：应用领域为高纯单晶硅、晶片外延、大规模集成电路、光电生产等电子行业气体终端纯化；气体行业超纯气体生产以及分析零点气制备。
4、超纯气体管道工程：设计、选材、施工、检验和服务总包，为客户量身制定整套实验室气体管路系统解决方案。
合作方式
本技术属成熟工业产品，能够根据客户需要提供合格产品。
