
联系人: 太原理工大学
所在地:山西 太原市
本发明涉及一种光子晶体多层膜的制备方法,是针对光子晶体在光学材料中的应用情况,采用导电玻璃做基片,以氧化钛、铜作膜层,通过磁控溅射,在基片上溅射TiO2、Cu膜层,以TiO2、Cu交替形成14层多层膜结构,然后对多层膜进行低温回火,提高多层膜的化学物理性能及力学性能,此制备方法工艺先进严密,技术参数准确翔实,产品质量好,纯度高,光学性能好,是十分理想的光子晶体多层膜的制备方法。
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