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[00050864]一种高品质因数的差分电感器结构及其制作工艺

交易价格: 面议

所属行业: 其他电气自动化

类型: 发明专利

技术成熟度: 正在研发

专利所属地:中国

专利号:CN201610708670.8

交易方式: 完全转让 许可转让 技术入股

联系人: 杭州电子科技大学

所在地:浙江 杭州市

服务承诺
产权明晰
资料保密
对所交付的所有资料进行保密
如实描述
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技术详细介绍

摘要:本发明公开一种高品质因数的差分电感器结构及其制作工艺。该差分电感器位于圆环硅通孔阵列中,将圆环中的硅通孔分为左侧和右侧,且从上到下为第一、二、三、四、五、六硅通孔。将各硅通孔按照设计要求进行金属层、重新布局层的连接。本发明利用bosch工艺在硅基底挖空槽,减小硅基底损耗。利用圆环内的硅通孔阵列构造三维差分电感器,差分电感内部的耦合(金属层和重新布局层中的金属线中的电流流向两两异向)和较小的有效面积将提高电感值。

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