APP下载
[00050868]用于横向高压器件和智能功率集成电路的厚膜SOI材料
联系人： 杭州电子科技大学
所在地：浙江 杭州市
- 服务承诺
- 产权明晰
-
资料保密
对所交付的所有资料进行保密
- 如实描述
技术详细介绍
摘要：本发明涉及一种用于横向高压器件和智能功率集成电路的厚膜SOI材料。本发明依次包括半导体衬底、薄隐埋氧化层、P型硅隐埋层和N型顶层硅膜。半导体衬底和N型顶层硅膜中的杂质为均匀分布；半导体衬底厚度为100～300μm，掺杂硼浓度为1013～1015cm-3；N型顶层硅膜厚度为2～70μm，掺杂磷浓度为5×1014～2×1016cm-3；薄隐埋氧化层是厚度为50～300nm的二氧化硅；P型硅隐埋层材料为硅，厚度为22～145μm，掺杂杂质元素包括铝、镓、硼，每种掺杂杂质的掺杂浓度在水平方向上均匀分布、在竖直方向变化。本发明在表面终端技术、漂移区长度优化等方面具有显著提高，有利于节能降耗、保护环境。
