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[00051156]一种真空蒸镀装置及利用其制备有机电致发光器件的方法
联系人： 苏州大学
所在地：江苏 苏州市
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技术详细介绍
摘要：本发明提供一种真空蒸镀装置及利用其制备有机电致发光器件的方法，所述真空蒸镀装置由真空蒸镀罩、钽蒸镀支架和真空泵组成；所述钽蒸镀支架由底座和两块基底支撑板组成，基底支撑板垂直设置在底座上方，两块基底支撑板的上方分别对应设置有基底卡槽，底座左右两侧分别接通电源的正负极、形成电流回路；所述底座与真空蒸镀罩平行放置，中间用木棍隔开，真空泵通过真空管与真空蒸镀罩的内部空间接通。本发明提供的真空蒸镀装置使得在制备有机电致发光器件时，在较低的压强条件下即可完成，毋须采用昂贵的真空蒸镀设备，所需设备较传统工艺所需工艺成本大大降低。
