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[00051162]Z轴正向放大一维精密定位平台
联系人： 苏州大学
所在地：江苏 苏州市
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技术详细介绍
摘要：本发明公开了一种Z轴正向放大一维精密定位平台，其包括：基座、放大机构、运动平台、压电陶瓷、预紧机构；放大机构包括：柔性臂、第一连接部、第二连接部以及两端的固定部；运动平台一侧与所述第一连接部相抵靠，另一侧形成平台承载面；压电陶瓷设置于第一连接部和第二连接部之间，压电陶瓷一端与预紧机构相抵靠，另一端与固定部向抵靠；预紧机构设置于一端的固定部中，预紧机构包括预紧螺母和钢珠，钢珠与压电陶瓷相抵靠，预紧螺母通过钢珠为压电陶瓷提供预紧力。本发明的Z轴正向放大一维精密定位平台具有行程范围大、高精度、结构简单、体积小、刚度大、灵敏度高、极高分辨率、纳米级、适宜作微动平台等优点。
