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[00051283]一种柱面及柱面汇聚系统的检测装置
联系人： 苏州大学
所在地：江苏 苏州市
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技术详细介绍
摘要：本实用新型公开了一种柱面及柱面汇聚系统的检测装置，涉及光学仪器检测技术领域，特别是涉及一种非接触式干涉检测柱面面形的装置，本技术方案使用两块能将平行光调制成柱面光波的汇聚系统分别与待测柱面组合，测试获得带有汇聚系统和待测柱面的组合波面误差数据，然后将两块柱面汇聚系统组合，获得两块柱面汇聚系统的组合波面误差数据，使用差分算法以及波面复原算法分别获得待测柱面以及两个柱面汇聚系统的面形误差数据，本技术方案具有检测光路简单，不需要使用高精度的测量好的检具即可实现对柱面较高精度的面形检测，特别适合光学加工领域中的柱面加工。
