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[00051606]大面积并联高密度感应耦合等离子体源

交易价格: 面议

所属行业: 其他机械

类型: 实用新型专利

技术成熟度: 可以量产

专利所属地:中国

专利号:zl200620069635.8

交易方式: 完全转让 完全转让

联系人: 苏州大学

所在地:江苏 苏州市

服务承诺
产权明晰
资料保密
对所交付的所有资料进行保密
如实描述
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技术详细介绍

本专利公开了一种大面积并联高密度感应耦合等离子体源,包括射频电源、匹配网络、外置天线和真空腔体等。采用了创新的感应天线的绕制方法,提高了射频功率的耦合效率,增强了等离子体密度,改善了其放电均匀性,设计与制作简单,成本低廉。   技术指标:   在700W射频功率的条件下,Ar等离子体密度超过1011cm-3,表面处理的均匀性好于85%。   应用领域:   各种样品表面的快速等离子体真空处理、薄膜生长等。

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