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[00054459]深脑刺激与神经调控的大规模面阵超声探头及其制备方法
联系人： 中国科学院深圳先进技术研究院
所在地：广东 深圳市
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资料保密
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技术详细介绍
用于深脑刺激与神经调控的大规模面阵超声的探头及其制备方法首先制备M*N型压电复合材料，因为压电复合材料是切穿的，可以大大降低相邻压电阵元间的串声干扰。采用溅射电极层并分散切割电极的工艺方法，按照阵元的排列分散第一正面电极，地电极不分散切割并通过包边电极层将地电极引在第一正面电极层，减少地电极信号引线。同时，可以实现单面集中接线，工艺简单可靠。再使用多层柔性电路板连线，多层柔性电路板上引线端阵列与阵元排列相同，采用两边对齐方式，将多层柔性电路板上的引线端与对应的阵元电极信号引线端对齐，容易找准多层柔性电路板的正确位置，保证可以将电极信号引线正确引出。
