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[00054461]超声探头及其制备方法
联系人： 中国科学院深圳先进技术研究院
所在地：广东 深圳市
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技术详细介绍
本发明公开了一种超声探头及其制备方法，该超声探头包括一外壳，外壳内包括从下至上依次粘接的背衬、压电层、匹配层和声透镜；背衬内嵌有导线阵列，导线阵列从背衬底面露出，背衬顶面溅射电极；压电层的下表面和上表面均溅射电极，形成第一溅射面和第二溅射面；第一溅射面与背衬溅射面粘接，构成压电背衬单元；压电背衬单元的一侧面溅射电极，与第二溅射面联通；地电极导线由该侧面引出并从背衬的底面露出；压电层上具有第一刀缝，沿着与该侧面平行的方向从上表面切至背衬溅射面下侧预设距离处；匹配层上具有第二刀缝，沿着与该侧面垂直的方向从匹配层顶面经压电层切至背衬溅射面下侧预设距离处。降低引线工艺操作难度，增加引线连接准确性。
