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[00054462]一种二维面阵列超声换能器及其制备方法
联系人： 中国科学院深圳先进技术研究院
所在地：广东 深圳市
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技术详细介绍
本发明提出了一种二维面阵列超声换能器及其制备方法，其中，该二维面阵列超声换能器包括：压电阵元阵列层，由M×N个压电阵元排布而成，各个压电阵元由切缝分隔，用于接收或发射超声信号；阵元电极，溅射在压电阵元阵列层的第一表面，按照所述切缝进行切割分隔，其中，每一阵元电极对应一压电阵元；去耦材料，填充在所述切缝，用于减少各个压电阵元的串声干扰；背衬块，与阵元电极粘结，用于吸收压电阵元背面的声能；电极引线，设置在背衬块中，每一电极引线分别连接一压电阵元，用于将电极信号接入到外部系统电路；公共电极，溅射在所述压电阵元阵列层的第二表面；匹配层，与所述公共电极粘结，用于使所述压电阵元与外部物体之间的声阻抗匹配。
