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[00054620]一种基于介电润湿的微液滴驱动器件及其制备方法
联系人： 中国科学院深圳先进技术研究院
所在地：广东 深圳市
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技术详细介绍
本发明提供了一种基于介电润湿的微液滴驱动器件，包括上下两层芯片，其中，上层芯片包括上基板及依次设置在上基板表面的参考电极层和疏水层；下层芯片包括下基板及依次设置在所述下基板表面的控制电极阵列和功能层，所述功能层的材质为CYTOP；上层芯片的疏水层与下层芯片的功能层相对设置，上下两层芯片之间由支撑物进行机械连接形成容纳微液滴的空间，参考电极层与控制电极阵列均通过导线与控制电路进行电连接。该微液滴驱动器件的结构简单，下层芯片中由一层CYTOP层替代现有技术中疏水层和介电层组成的两层结构，该微液滴驱动器件所需驱动电压低，可实现对微液滴的灵活操控。本发明还提供了该微液滴驱动器件的制备方法。
