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[00054732]一种利用微加工在电极表面制备三维微结构的方法

交易价格: 面议

所属行业: 自动化元件

类型: 发明专利

技术成熟度: 正在研发

专利所属地:中国

专利号:CN201610547515.2

交易方式: 完全转让 许可转让 技术入股

联系人: 中国科学院深圳先进技术研究院

所在地:广东 深圳市

服务承诺
产权明晰
资料保密
对所交付的所有资料进行保密
如实描述
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技术详细介绍

本发明公开了一种利用微加工在电极表面制备三维微结构的方法,所述方法包括如下步骤:在电极的表面形成掩膜层;所述掩膜层上具有若干个贯穿所述掩膜层的空隙;通过在所述掩膜层上沉积金属层,在所述空隙内形成与所述电极的表面连接的金属点;去除所述掩膜层以及所述掩膜层上的金属层,使得所述金属点暴露出来。本发明通过掩膜在电极表面制得三维金属微结构,既能与组织界面紧密接触,又能获得较好的机械强度。

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