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[00054735]L型静电驱动微型机器人、制造方法与控制方法
联系人： 中国科学院深圳先进技术研究院
所在地：广东 深圳市
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资料保密
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- 如实描述
技术详细介绍
本发明提供了一种L型静电驱动微型机器人、制造方法与控制方法。该L型静电驱动微型机器人的制造方法包括以下步骤步骤S10制备牺牲层；步骤S20制造处理第一光刻胶层；步骤S30制造处理第二光刻胶层；步骤S40对第一光刻胶层、第二光刻胶层的曝光区域进行显影，除去第一光刻胶层和第二光刻胶层的未曝光区域，从而形成L型结构；步骤S50对远离牺牲层的L型结构的表面溅射沉积导电金属层，并除去牺牲层。应用该L型静电驱动微型机器人的制造方法所制造的微型机器人解决了现有技术中微型机器人无法同时满足微型化、驱动力大、频率响应高、供能方便简单、耗能小、且控制精确的要求的问题。
