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[00054773]一种六氟丙烷基PMO薄膜的制备方法及应用
联系人： 中国科学院深圳先进技术研究院
所在地：广东 深圳市
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技术详细介绍
本发明涉及一种六氟丙烷基PMO薄膜的制备方法及应用；制备方法包括如下步骤：(1)制备六氟丙烷基前驱体分子溶液；在干燥氮气的保护下，向异氰酸-3-(三乙氧硅基)丙酯的丙酮溶液中加入2,2-双(3-氨基-4-羟苯基)六氟丙烷的丙酮溶液，冰浴中反应1.5～3h，加热至室温并保温2～5h，制得六氟丙烷基前驱体分子溶液；(2)制备涂膜溶液：前驱体分子溶液中加入模板剂、溶剂和稀盐酸，制得涂膜溶液，模板剂的添加量为0～100％；(3)制备PMO薄膜；将涂膜溶液涂于基底表面，固化，制得PMO薄膜。本制备方法通过增大分子孔隙体积、降低分子极性、提高交联度，达到新型PMO薄膜介电常数的降低和力学性质的保障。
