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[00054854]一种具有金刚石涂层的硬质合金件及其制备方法
联系人： 中国科学院深圳先进技术研究院
所在地：广东 深圳市
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技术详细介绍
本发明提供了一种具有金刚石涂层的硬质合金件，包括硬质合金基体，以及依次设置于所述基体上的碳化硅层、碳化硅‑金刚石梯度复合涂层和金刚石涂层，所述碳化硅‑金刚石梯度复合涂层中，沿厚度方向由所述碳化硅层向所述金刚石涂层，碳化硅含量逐渐减少而金刚石含量逐渐增加。本发明通过在硬质合金基体上先沉积碳化硅层和碳化硅‑金刚石梯度复合涂层作为中间层，再沉积金刚石涂层，使得基体表面的整个涂层从基体到顶层不仅成分呈梯度变化，无新界面的增加，而且热膨胀系数呈梯度变化，从而有效降低金刚石薄膜中的热应力，提高薄膜结合力。本发明还提供了该具有金刚石涂层的硬质合金件的制备方法。
