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[00054856]用于制备埋入式薄膜电阻的活化剂、埋入式薄膜电阻的制备方法及埋入式薄膜电阻
联系人： 中国科学院深圳先进技术研究院
所在地：广东 深圳市
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技术详细介绍
本发明涉及一种用于制备埋入式薄膜电阻的活化剂、埋入式薄膜电阻的制备方法及埋入式薄膜电阻。该用于制备埋入式薄膜电阻的活化剂包括水、硫酸锌、DL-苹果酸钠和锌粉，其中，所述硫酸锌的浓度为20～200g/L、所述DL-苹果酸钠的浓度为10～50g/L、所述锌粉的浓度为5～30g/L。该活化剂不含有氯和钯。经实验证明，采用该活化剂对衬底进行活化后，能够在较低温度下在衬底上化学镀制镍磷薄膜，能耗较低，且不在化学镀液中引入氯，保证了镀液的稳定性。使用上述活化剂进行活化，有利于降低埋入式薄膜电阻的制备成本，并由于保证了镀液的稳定性，有利于保证镍磷薄膜的质量，从而保证埋入式薄膜电阻具有较好的性能。
