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[00054866]用于金刚石单晶同质外延的籽晶托盘、基台组件及其应用

交易价格: 面议

所属行业: 其他新材料技术

类型: 发明专利

技术成熟度: 正在研发

专利所属地:中国

专利号:CN201510974331.X

交易方式: 完全转让 许可转让 技术入股

联系人: 中国科学院深圳先进技术研究院

所在地:广东 深圳市

服务承诺
产权明晰
资料保密
对所交付的所有资料进行保密
如实描述
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技术详细介绍

本发明适用于金刚石合成技术领域,提供了一种用于金刚石单晶同质外延的籽晶托盘、基台组件及其应用。所述籽晶托盘置于微波等离子体化学气相沉积装置的水冷台上,所述籽晶托盘中心开设有用于放置籽晶的穿孔。所述用于金刚石单晶同质外延的基台组件,包括水冷台和设置在所述水冷台上的籽晶托盘,所述籽晶托盘为上述的用于金刚石单晶同质外延的籽晶托盘。

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