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[00054947]一种测定含氢类金刚石涂层在低温下的热膨胀系数的方法
联系人： 中国科学院深圳先进技术研究院
所在地：广东 深圳市
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技术详细介绍
本发明适用于涂层技术领域，提供了一种测定含氢类金刚石涂层在低温下的热膨胀系数的方法，包括以下步骤以两种不同衬底制备a-CH涂层样品A样品和B样品；依次测量A样品和B样品在T0、T1下的曲率半径RA0和RB0、RA1和RB1；采用Stoney公式分别计算A样品和B样品在ΔT＝T1-T0下样品的应力变化ΔσA1和ΔσB1，经变形后得到a-CH涂层的热膨胀系数αf1；重复上述步骤操作，获得T2、T3…Ti-1、Ti温度下所述a-CH涂层在不同的温度区间Ti-1→Ti内的平均线膨胀系数αfi，其中i＝1、2、3…，获得所述a-CH涂层的线膨胀系数随温度的变化曲线。
