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[00055867]覆铜板的蚀刻设备及覆铜板的蚀刻系统
联系人： 中国科学院深圳先进技术研究院
所在地：广东 深圳市
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资料保密
对所交付的所有资料进行保密
- 如实描述
技术详细介绍
本实用新型涉及一种覆铜板的蚀刻设备及覆铜板的蚀刻系统。该覆铜板的蚀刻设备，包括：图形蚀刻框，包括内框与外框，外框套设于内框外，且外框与内框之间存在间隙，外框与内框用于承载待蚀刻覆铜板的一端为图形蚀刻框的承载端，间隙为图形蚀刻框的蚀刻区；喷淋件，包括喷淋器，喷淋器的喷头设于蚀刻区内；固定件，包括抽真空装置及与抽真空装置连接的气管，气管的数目为多条，若干条气管远离抽真空装置的一端穿设于内框上，若干条气管远离抽真空装置的一端穿设于外框上，多条气管用于除去待蚀刻覆铜板与承载端接触处的气体。使用上述覆铜板的蚀刻设备可以得到较高的产品良率。
