[00057749]一种中空阴极离子源
交易价格:
面议
所属行业:
其他电气自动化
类型:
实用新型专利
技术成熟度:
正在研发
专利所属地:中国
专利号:CN201120143296.4
交易方式:
完全转让
许可转让
技术入股
联系人:
武汉大学苏州研究院
所在地:江苏 苏州市
- 服务承诺
- 产权明晰
-
资料保密
对所交付的所有资料进行保密
- 如实描述
技术详细介绍
摘要:本实用新型公开了一种中空阴极离子源
阴极离子源至少包括电子枪、蒸发坩埚、连接螺母和进气管;在电子枪中,灯丝位于上阴极、下阴极及阴极绝缘套构成的中空阴极内,阳极安装于上阴极的上方且与上阴极之间设有间隙;在蒸发坩埚中,加热器套装于坩埚套内,坩埚体位于加热器内,隔热屏套装于坩埚套的外部;坩埚套的下部及阴极套的上部均设有外螺纹,坩埚套的下部与阴极套的上部通过连接螺母连接,坩埚体和加热器的上部连接有进气管。本实用新型阴极离子源提供的离子源便于拆卸、安装、换料、更换受损部件和清洁。