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[00058023]非晶氧化铟锌/碳纳米管复合薄膜晶体管及其制备方法
联系人： 武汉大学苏州研究院
所在地：江苏 苏州市
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技术详细介绍
本发明提供了一种非晶氧化铟锌/碳纳米管复合薄膜晶体管，以柔性氧化铟锌/碳纳米管复合薄膜为半导体沟道层，在复合薄膜中，碳纳米管和氧化铟锌的质量比在0.027%-2.74%之间。将碳纳米管加入到铟盐-锌盐复合胶体溶液中，制备出碳纳米管/铟盐-锌盐复合胶体溶液，利用旋涂工艺，制备出高性能氧化铟锌/碳纳米管复合薄膜，再经后续热退火、光刻、刻蚀、再光刻以及电极的蒸镀和剥离制备出高迁移率氧化铟锌/碳纳米管复合薄膜场效应晶体管。 通过对一些工艺的优化，成功制备出高场效应迁移率的氧化铟锌/纳米管，并且具备极高的机械性能。本实验成本低廉，实验条件要求低，实验结果的可重复性高，且可实现大规模批量生产。
