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[00058842]一种自支撑压电/铁电薄膜的制备方法
联系人： 中科院宁波先进制造所
所在地：浙江 宁波市
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技术详细介绍
摘要：本发明公开了一种自支撑压电/铁电薄膜的制备方法，该方法首先采用现有技术制备保留阻挡层的阳极氧化铝薄膜；然后，在所述的阳极氧化铝薄膜的阻挡层表面沉积底电极，接着在所述的底电极表面依次沉积压电/铁电薄膜与顶电极；最后，用碱溶液腐蚀保留阻挡层的阳极氧化铝薄膜，使阻挡层和阳极氧化铝薄膜溶解在碱溶液中，得到自支撑压电/铁电薄膜。本发明的制备方法克服了衬底对薄膜存在束缚作用而导致的转化效率低、不易集成的问题，得到的自支撑压电/铁电薄膜具有平整度高、转换效率高的优点，是一种成本低廉、简单易行的制备方法，具有良好的应用前景。
