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[00059665]基于高精度电感测头的逐级递推式纳米级测量系统
联系人： 中国科学院自动化研究所
所在地：北京 北京市
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资料保密
对所交付的所有资料进行保密
- 如实描述
技术详细介绍
一种基于高精度电感测头的逐级递推式纳米级测量系统。
纳米级测量系统包括控制部分，还包括：铁心（9）放置在线圈（10）和（8）之间；测杆（7），其一端连接铁心（9），另一端连接测杆触头（5）；微进给装置（6）位于测杆（7）之间，根据被测物体（4）的微小位移量提供进给量。本发明针对微位移测量采用逐级递推方式进行分步推进，一方面使纳米级测量易于实现，另一方面使整个测量系统具有较大的测量范围。因此，纳米级进给装置决定了该测量系统具有较高的测量精度。该测量系统采用接触方式测量，因此本纳米级测量系统适合准静态的微位移测量。
纳米级测量系统包括控制部分，还包括：铁心（9）放置在线圈（10）和（8）之间；测杆（7），其一端连接铁心（9），另一端连接测杆触头（5）；微进给装置（6）位于测杆（7）之间，根据被测物体（4）的微小位移量提供进给量。本发明针对微位移测量采用逐级递推方式进行分步推进，一方面使纳米级测量易于实现，另一方面使整个测量系统具有较大的测量范围。因此，纳米级进给装置决定了该测量系统具有较高的测量精度。该测量系统采用接触方式测量，因此本纳米级测量系统适合准静态的微位移测量。
