[00060494]球面反射镜的双点源干涉检测方法及装置
交易价格:
面议
所属行业:
机械检测
类型:
专利
技术成熟度:
正在研发
专利所属地:中国
专利号:CN200510120663.8
交易方式:
完全转让
联系人:
华南师范大学
所在地:广东 广州市
- 服务承诺
- 产权明晰
-
资料保密
对所交付的所有资料进行保密
- 如实描述
技术详细介绍
本发明涉及一种球面反射镜的双点源干涉检测方法及其装置,所述检测方法包括获取平行光,选出双点源,光束经平面反射返回,光束经球面反射返回,返回光束输出,球面反射镜误差检测的步骤,所述方法使用的装置包括光源、光束处理装置、光栅、凸透镜、透反平面镜、空间滤波器、小平面反射镜、球面反射镜安装调节平台、像屏和摄像机,所述器件安装于器件夹持调节装置上。本发明精度高,对振动、温度、气流敏感小,稳定性高,易于操作并能推广应用。