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[00061862]一种基于压电薄膜泵的集成液滴生成芯片及其制作方法
联系人： 刘姣姣
所在地：陕西 西安市
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资料保密
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技术详细介绍
本发明所述的一种基于压电薄膜泵的集成液滴生成芯片及其制作方法，包括盖板、压电膜、通道层及基板，盖板、压电膜、通道层及基板自上到下依次相连接；所述压电膜的上表面及下表面均设有镀膜区，所述镀膜区由水相压电薄膜泵的工作区电极、油相压电薄膜泵的工作区电极及导通区域；通道层包括液滴通道、水相压电薄膜泵工作区通孔、油相压电薄膜泵工作区通孔、两个储液池通孔、收液池通孔及第一通道槽孔、第二通道槽孔、第三通道槽孔、第四通道槽孔及若干电极引出孔；所述盖板上开设有两个第一通孔、两个第二通孔、第三通孔及若干个第四通孔；该芯片的控制精度高，并且制备方法简单。
