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[00062063]一种蚀刻液及其制备方法
联系人： 厦门立德软件公司
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技术详细介绍
本发明公开一种对工件进行化学蚀刻加工中所用的蚀刻液，所述蚀刻液包括以下重量百分比的组分：三氯化铁20～50%、硝酸10～15%、氯化钠5～10%，余量为水。本发明所公开的蚀刻液，能够将所蚀刻金属成分中呈离子状态易结合生成难溶物质的镍、硅等离子转化生成可溶性盐，增强蚀刻液对金属的蚀刻能力，提高了反应速率，同时，可在工件表面掩膜覆盖部分自下而上发生侧蚀，侧蚀速率平稳，易于控制，被蚀刻加工的工件表面凹坑处易形成平滑过渡、截面形状近似正弦曲线的波谷，无明显棱边，具有较好的侧蚀效果。另外，本发明还公开了所述蚀刻液的制备方法，简便易于操作。
