APP下载
[00062365]一种高精密的光栅位移测量装置
联系人： 厦门立德软件公司
所在地：
- 服务承诺
- 产权明晰
-
资料保密
对所交付的所有资料进行保密
- 如实描述
技术详细介绍
本发明是一种高精密的光栅位移测量装置。包括有由反射光栅尺、第一光学放大系统、第二光学放大系统、FPGA驱动单元、第一CMOS阵列和第二CMOS阵列，反射光栅尺的增量码由第一光学放大系统放大，反射光栅尺的绝对码由第二光学放大系统放大，FPGA驱动单元驱动第一CMOS阵列和第二CMOS阵列采集两路光形成两张图像，对绝对码图像处理解码出一个光栅尺的绝对位置距离，对增量码的处理进一步计算出一个误差的增量距离，这两个距离加在一起最终得到一个CMOS阵列中心相对光栅尺的一个高精确的距离。本发明通过宏微复合的方法实现高精度位移测量，其分辨力可以到达纳米级。
