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本发明公开了本发明提出的一种宏微复合运动的动态切换方法。即在宏平台接近终点进行减速的过程,即提前启动微平台,通过微平台实现精密定位,同时宏、微平台也达到稳定。该方法将根据宏、微平台的结构及动态特性,确定切换的振幅阈值,并确定相应的切换时刻,当宏平台减速过程中达到切换条件时,则进行运动的切换,启动微平台的运动,通过绝对光栅实现微平台的闭环控制,最终达到平台的定位精度要求。
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