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[00063444]一种用于增强光刻分辨率的离轴照明结构和光刻系统
联系人： 厦门立德软件公司
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技术详细介绍
本发明公开一种用于增强光刻分辨率的离轴照明结构和光刻系统，用于增强光刻分辨率的离轴照明结构包括依次设置的反射镜、聚光透镜、掩膜板和投影透镜，还包设置在反光镜与掩膜板之间的相位图形片，相位图形片包括同一圆内的多个相邻夹角相等且圆心角相等的极边扇形，极边扇形被多个同心圆分割为多个间距成等差级数的曲边照明极块，入射光束经过反射镜反射到相位图形片后偏离主光轴产生一个倾角后，透射过掩膜板的图形的零级和一级衍射光经过投影透镜在晶圆片的光刻胶上形成干涉图案。通过将相位图形片的极边扇形分割为多个曲边照明极块，增加了照明极的数量，获得具有环形和极边照明的双重特征，增强了光刻分辨率，提高了焦深。
