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本发明涉及一种高纯钽锭及其制备方法。其特点是,包括如下步骤:(1)将高熔点金属杂质含量较低的钽粉成型;(2)在真空下高温烧结制得钽棒、钽条或者钽块,采用同样纯度的钽丝制备真空电子束熔炼用的熔炼电极;(3)采用真空电子束熔炼炉进行至少两次熔炼,要求第一次熔炼采用水平进料或者垂直进料方式,在第二次或者第二次以后的熔炼均采用垂直进料方式;在进行第二次或者第二次以后的电极熔炼时要求电极旋转,控制旋转速度为0.3-0.8r/min。通过熔炼的工艺控制,其熔炼的钽铸锭纯度高,尤其间隙杂质元素C、O、N、H较低,其铸锭硬度低,气孔、疏松、缩孔等缺陷少,适于压力加工制备钽靶材等高端加工材。
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