[00064799]一种大量程压阻式高频响固定式四分量铣削力传感器

交易价格： 面议

所属行业： 机床

类型： 发明专利

技术成熟度： 已有样品

专利所属地：中国

专利号：CN103921171A

交易方式： 完全转让

联系人：苏海彬

所在地：陕西西安市

服务承诺: 产权明晰; 资料保密
对所交付的所有资料进行保密; 如实描述

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技术详细介绍

一种大量程压阻式高频响固定式四分量铣削力传感器，传感器为一个整体结构零件，传感器采用支撑梁加变形梁的复合结构设计，传感器包括载物平台、竖直变形梁、水平变形梁、固定底座四部分，载物平台通过竖直变形梁和水平变形梁连接在固定底座上，竖直变形梁共四个，水平变形梁共四组，在竖直变形梁竖直贴装第一压阻式MEMS硅微力敏芯片，在水平变形梁水平贴装第二压阻式MEMS硅微力敏芯片，本发明可以实现对铣台所受包括水平X、Y向，竖直Z向三向力的测量以及主轴扭矩的检测，不仅可以测量动态力，也适用于静态力的测量，在使用和维护方面更加简单可靠，降低成本。

[00064799]一种大量程压阻式高频响固定式四分量铣削力传感器

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