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本申请提供一种深紫外LED,包括衬底;位于所述衬底表面的未掺杂的缓冲层;位于所述未掺杂的缓冲层背离所述衬底表面的N型AlGaN层;位于所述N型AlGaN层背离所述衬底表面的多量子阱结构;位于所述多量子阱结构背离所述衬底表面的V型Al组分渐变的P型AlGaN结构,所述V型Al组分渐变的P型AlGaN结构采用极化掺杂,且其中所述V型Al组分渐变的P型AlGaN结构中的Al组分与所述多量子阱结构的Al组分不同;位于所述V型Al组分渐变的P型AlGaN结构背离所述衬底表面的P型GaN层。由于V型Al组分渐变的P型AlGaN结构能够获得更高浓度的空穴,从而提高紫外LED的内量子效率和发射功率。
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