
联系人: 厦门立德软件公司
所在地:福建 厦门市
本申请公开的一种平台的定位系统,致动元件进行伸长时,弹簧元件受压缩短,从而使得平台向前移动;当致动元件进行缩短时,弹簧元件伸长,从而使得平台向后移动。因此,在平台振动时,致动元件输出针对性往复运动,对平台的振动进行消减,并对平台的定位误差进行补偿。进而减少了平台的定位时间,提高了平台的定位精度。进而提高了电子制造装备的操作精度和工作效率。
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