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[00065951]一种用于微孔加工的晶圆夹具
联系人： 厦门立德软件公司
所在地：福建 厦门市
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技术详细介绍
本发明公开一种用于微孔加工的晶圆夹具，包括环状支撑座、进气通道、出气通道、固定件，环状支撑座中间开设悬空孔，晶圆边缘由环状支撑座支撑，当晶圆的中间正对悬空孔放置时，晶圆的中心用于刻蚀的位置呈悬空，可以用于激光刻蚀加工微孔；进气通道和出气通道分别开设于环状支撑座的周向侧壁上，使悬空孔与外界保持横向连通，出气通道与进气通道相对设置；固定件与晶圆的边缘接触，将晶圆压装固定于环状支撑座的上表面。晶圆正上方设置吹气装置，当微孔打通后将晶圆上微孔中的碎屑向下吹送至悬空孔内，碎屑随进气通道进入的气流从出气通道向外排出，避免碎屑在晶圆的微孔加工处堆积，进而避免碎屑产生溅射层，提高微孔深径比。
