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[00066598]一种硅料清洗方法

交易价格: 面议

所属行业: 微电子

类型: 发明专利

技术成熟度: 正在研发

专利所属地:

专利号:CN201410798245.3

交易方式: 完全转让

联系人:

所在地:中卫市 

服务承诺
产权明晰
资料保密
对所交付的所有资料进行保密
如实描述
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技术详细介绍

本发明公开的一种硅料清洗方法,包括预清洗、喷砂、清洁、超声清洗、漂洗以及烘干这六个步骤。本发明的一种硅料清洗方法解决了现有的化学清洗方法存在的清洗品质不稳定以及清洗成本高的缺点。1.本发明采用的先喷砂,然后使用纯水清洗;本行业中硅料一直使用酸洗,本发明克服了酸洗的技术偏见,清洗后的硅料完全清除了硅料表层的杂质和污物,满足制作太阳能级单晶硅对硅料洁净度的要求;2.清洗过程使用的是纯水,清洗后的废水无化学试剂,可直接排放,减少环境污染;3.硅料整块清洗,避免清洗前破碎所导致的硅料损耗及挑拣所需的人工成本,提高硅料利用率;4.操作流程简单,可管控性强,有效提高硅料清洗品质。

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